机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动
机译:基于自耦合压电AlN轮廓模式谐振器的超高频通道选择MEMS滤波器
机译:基于轮廓模式压电谐振器的单芯片多频ALN MEMS滤波器
机译:基于自耦合ALN轮廓模式压电谐振器的通道 - 选择RF MEMS滤波器
机译:AlN MEMS轮廓模式谐振器和CMOS电路的异构集成
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译:与aLN轮廓模式谐振器单片集成的压电aLN RF mEms开关的双波束激励